pagpainit ng mocvd reactor na may induction
Ang induction heating Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reactors ay isang teknolohiyang naglalayong pahusayin ang kahusayan sa pag-init at bawasan ang nakakapinsalang magnetic coupling sa gas inlet. Ang mga conventional induction-heating MOCVD reactors ay kadalasang mayroong induction coil na matatagpuan sa labas ng chamber, na maaaring magresulta sa hindi gaanong mahusay na pag-init at potensyal na magnetic interference sa sistema ng paghahatid ng gas. Kamakailan… Magbasa nang higit pa